測(cè)試步驟：

　　靜電放電測(cè)試時(shí)要求一次至少使用三個(gè)樣本，每個(gè)樣本規(guī)定的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)參數(shù)都要事先進(jìn)行測(cè)試并記錄。

　?、?在試驗(yàn)器插座上（A，B端）分別插上評(píng)價(jià)負(fù)載（短路線和R2）；電流探針置于B端處；按表4設(shè)置試驗(yàn)器充電電壓；

　　② 分別引發(fā)試驗(yàn)器脈沖，觀測(cè)電壓波形，要求上升時(shí)間、峰值電流和振鈴波形滿足要求。采用拍照或數(shù)字貯存方式記錄這些波形。

　?、?在試驗(yàn)器插座上換上被測(cè)器件（DUT）進(jìn)行放電試驗(yàn)，通常按表4從最低電壓檔開始，每個(gè)被測(cè)器件應(yīng)采用一個(gè)正向和一個(gè)反向脈沖試驗(yàn)，允許脈沖之間至少間隔 0.3s時(shí)間。

　　④ 在室溫下測(cè)試樣本的所有靜態(tài)和動(dòng)態(tài)參數(shù)。如果要求多個(gè)溫度，首先從最低溫度開始。

　?、?如果所有三個(gè)樣本都通過規(guī)定數(shù)據(jù)的參數(shù)測(cè)試，則再用表4中更高一擋電壓試驗(yàn)。記錄通過的最高電壓檔。

　?、?如果有一個(gè)或多個(gè)樣本失效，重新用三個(gè)新的樣本，以降低一擋表4中電壓進(jìn)行試驗(yàn)。如果繼續(xù)有失效，再降低一擋，如果還有失效，則停止試驗(yàn)。

　?、?按表4進(jìn)行分級(jí)。

　　2） 機(jī)器模式的靜電放電敏感性測(cè)試

　　圖5　機(jī)器模式的靜電放電敏感性測(cè)試原理圖

　?、?雙極性脈沖發(fā)生器應(yīng)該設(shè)計(jì)為避免重復(fù)充電和產(chǎn)生雙脈沖。不能靠交換A、B端點(diǎn)來獲得雙極性性能。

　?、?開關(guān)SW1須在脈沖通過后關(guān)閉10ms～100ms，以確保被試插座不在充電狀態(tài)，它也應(yīng)該先于下個(gè)脈沖到來前至少開啟10ms。電阻R1和開關(guān)串聯(lián)以確 保器件有一個(gè)慢放電，這樣就避免了一個(gè)帶電器件模式放電的可能性。

　?、?圖5中評(píng)價(jià)電阻負(fù)載1為：一種截面為0.83mm2～0.21mm2鍍錫銅短路線，長(zhǎng)度不大于75mm。負(fù)載2為：500Ω，±1%，1000V。

　?、?電流傳感器要求

　　——最小帶寬350MHz；

　　——峰值脈沖電流15A；

　　——上升時(shí)間小于1ns；