3. MSME壓力傳感器

　　壓力傳感器主要制造商：

　　GE Measurement&ControlSolutions、羅伯特·博世、歐姆龍、NXP-飛思卡爾、亞德諾半導(dǎo)體、菲爾斯特、香港HKST、TDK-EPC、Silicon Microstructures、Sensimed、敏芯微(MEMSensing)、華美澳通、北京青鳥元芯、中科院上海微系統(tǒng)所、無錫納微電子有限公司、上海芯敏微系統(tǒng)技術(shù)有限公司、Consensic、盾安環(huán)境

　　4. MEMS環(huán)境傳感器

　　環(huán)境傳感器可細(xì)分為氣體、溫度和濕度傳感器等。

　　國外溫度傳感器主要制造商：

　　博世、Hygrometrix、TI、瑞士盛思銳、歐姆龍。

　　國外濕度傳感器主要制造商：

　　博世、意法半導(dǎo)體、MEMS Vision、瑞士盛思銳、TE Sensors。

　　國外氣體傳感器主要制造商：

　　博世、奧地利微電子、Cambridge CMOS Sensors、瑞士盛思銳、瑞士Micronas、美國Synkera。

　　國內(nèi)氣體傳感器主要制造商：

　　蘇州能斯達(dá)、武漢微納傳感科技、煒盛科技、森斯特(北京)電子科技有限公司(Nenvitech)、深圳市戴維萊傳感技術(shù)開發(fā)有限公司、武漢四方光電科技有限公司、速麗德(Solidsense)、城市技術(shù)(CityTechnology)。

　　5. MEMS生物傳感器

　　MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。未來MEMS生物傳感器在醫(yī)學(xué)、食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域具有廣闊發(fā)展空間。

　　MEMS傳感器全球代工廠

　　MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨(dú)立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。目前IDM代工處于市場領(lǐng)導(dǎo)地位。

　　臺積電目前是全球最大的獨(dú)立的MEMS代工廠，中芯國際、華宏宏利、上海先進(jìn)半導(dǎo)體也有生產(chǎn)MEMS的能力。

　　MEMS傳感器封測廠

　　目前具備MEMS封裝測試能力的國際廠商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技、華天科技、長電科技、晶方科技等廠商。