圖1中第1部分為整流濾波電路，采用全波橋式整流與電容濾波將220V交流變?yōu)?11V平滑直流。第2部分為開關電源，將311V直流變?yōu)?00kHz脈沖電流，再經電容、電感濾波后變?yōu)?0V、8A直流。第3部分包括由振蕩器與放大器兩部分組成的RF電路（如虛線框內所示）。將輸入直流經晶振變?yōu)?0MHz，6W射頻。再經14.28dB增益的放大器，放大后輸出為40MHz，160W。第4部分為脈沖工作的調制器。第5部分為匹配網絡。

圖 RF CO2激光器電源原理框圖