上下二層是玻璃體，中間是硅片，其應力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個典型的絕壓壓力傳感器。為了便于TPMS接收器的識別，每個壓力傳感器都具有32位獨特的ID碼，它可產(chǎn)生4億個不重復的號碼。
壓力傳感器芯片制作工藝流程
壓力傳感器芯片制作工藝流程如下圖所示：
圖3 工藝流程示意圖
壓力傳感器由具有壓阻效應的敏感元件構成測量電橋，當受外界壓力作用時，電橋失去平衡，產(chǎn)生輸出電壓。
總結
本文簡單介紹了壓力傳感器芯片的分類、制作工藝流程等知識，并以壓力傳感器芯片SCA2095為例分析了其原理，同時就對于MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片結構的知識也做了相應的概括。
加速度計相關文章:加速度計原理
加入技術交流群
評論